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上光所研究员首次利用硫系薄膜实现灰度光刻

更新时间  2022-02-21 01:03 阅读
本文摘要:中国科学院上海光机所密度高的光存储试验室魏劲松科学研究工作组在一项最近科学研究中,初次利用硫系薄膜搭建高像素的灰度图型光刻。 此项科学研究初次寻找,利用激光器平写成在硫系薄膜组成表层浮雕图案构造,根据精确操控激光器单脉冲动能能够得到 有所不同高宽比和规格的浮雕图案构造,有所不同高宽比和规格的浮雕图案构造造成有所不同的光源(出射)光谱仪,利用该效用组成灰度光刻,并成功在Sb2Te3薄膜上镌刻到数徵灰度图象。

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中国科学院上海光机所密度高的光存储试验室魏劲松科学研究工作组在一项最近科学研究中,初次利用硫系薄膜搭建高像素的灰度图型光刻。  此项科学研究初次寻找,利用激光器平写成在硫系薄膜组成表层浮雕图案构造,根据精确操控激光器单脉冲动能能够得到 有所不同高宽比和规格的浮雕图案构造,有所不同高宽比和规格的浮雕图案构造造成有所不同的光源(出射)光谱仪,利用该效用组成灰度光刻,并成功在Sb2Te3薄膜上镌刻到数徵灰度图象。

  SimonPleasants博士研究生在作关键评价时觉得:硫系薄膜做为热学原材料在光存储、半导体材料储存中具有广泛的运用于,这种运用于根据硫系薄膜的非晶态和晶态所具有的有所不同电子光学特点和电力学特点。如今,利用硫系薄膜的液体、汽态、晶态和非晶态四种情况,展现了用以硫系热学薄膜做为灰度光刻原材料制得灰度图型。

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  据了解,该科学研究根据激光器直写硫系热学原材料组成表层浮雕图案构造,为简易灰度图案设计的制得获得了新的解决方案,这与当今的曝出光学技术、离子束光刻、讨论电子束光刻技术性有所不同,是一种精美比较简单又降低成本的生产工艺流程。  相关权威专家强调,凸起的浮雕图案构造展览的电子光学特性在高像素的微结构图象储存、微工艺品生产加工和灰度掩膜制得等很多行业具有潜在性的运用于使用价值。


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